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潔凈室的常見的幾種氣流方式

2016-05-25 15:55:30   作者:kewatt  出處:科瓦特


層流式:層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內,并由高
架地板或兩側隔板回風,此型式適用于潔凈室等級需定較高之環境使用,一般其潔凈室等級為
CLASS1-100。其型式可分為二種:

                                       潔凈室氣流組織示意圖
水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,
一般在下流側污染較嚴重。

                     水平層流潔凈室圖
垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中
或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其他工作區域。


                          垂直層流潔凈室
亂流式:空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間
墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級
1000-100,000級。

                                       亂流潔凈室示意圖
復合式:復合式為將亂流式及層流式予以符合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。我們也稱之為非單向流。

                               

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